日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 特點介紹

電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地減少了溫度、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響，并實現(xiàn)了高精度和穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。

達到調(diào)零最小頻率的儀表。

高精度、穩(wěn)定的壓力測量

?出色的零點穩(wěn)定性

?溫度依賴性低，無需溫度調(diào)節(jié)機構即可實現(xiàn)出色的穩(wěn)定性

?出色的抗振性和噪音性

緊湊、低功耗

、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)

、功耗 0.5 W

日本進口Anelva電容表真空表高精度測量壓力 M-342DG 規(guī)格參數(shù)

廣泛兼容真空壓力的高精度、長期穩(wěn)定測量

半導體、顯示器、太陽能電池等各種真空設備、

濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監(jiān)視

/負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工藝、系統(tǒng)壓力管理。

用于醫(yī)療、生物、食品等行業(yè)的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設備、滅菌、真空泵評估、分子蒸餾等，以及各種研發(fā)應用。

型號名稱M-342DG

-1D-1N-11-12-13

滿量程壓力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k 

測量精度（讀數(shù)的%）0.20(23℃時) 

零點溫度系數(shù)（% of FS/℃）0.01 0.005 0.002 

量程溫度系數(shù)（%讀數(shù)/℃）0.01 0.005 

分辨率（滿量程的%）0.01 0.005 

測量下限壓力（滿量程的%）0.01 

實際測量下限壓力（滿量程的%）0.05 

實際控制下限壓力（滿量程的%）0.5 

響應速度（毫秒）100 30 

壓力上限200 kPa（但是，對于NW16和NW25，內(nèi)部壓力不得為正）

*13.33 Pa規(guī)格為130 kPa 

電源電壓（VDC）+13.5～26.4 

功耗（瓦）0.5