日本日酸TANAKA低壓用高純度氣體壓力調整器 TANAKA日酸 TORR-L 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規(guī)格品。（接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-L系列是可控制二次側微壓的調整器。

日本日酸TANAKA低壓用高純度氣體壓力調整器 TANAKA日酸 TORR-L 規(guī)格參數(shù)

●使用材質接觸氣體部主體:隔膜:壓力計:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調壓手柄:SUS316Lsus316、氟樹脂C3604ABS樹脂、C3604

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:1.5MPa0.06MPa4 0L/min（nor）（P1=0.1MPa、P2=0.06MPa、N2GAS）-5～40°C5.2kg過濾器未裝入，請另行設置。3/8"1.3×10-8Pa m3/sec以下

●還可制作電解研磨規(guī)格品。（接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-L系列是可控制二次側微壓的調整器。