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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機(jī)

日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機(jī) STM-06

手動手柄和秤允許在固定位置進(jìn)行測量。

  • 產(chǎn)品型號:STM-06
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-07
  • 訪  問  量:277
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詳細(xì)介紹

日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機(jī) STM-06 的特點(diǎn)介紹


手動手柄和秤允許在固定位置進(jìn)行測量。

通過真空吸附將晶圓固定在平臺上。防止測量造成的劃傷。

測量數(shù)據(jù)以 EXCEL 文件形式保存在連接的計(jì)算機(jī)上。
測量結(jié)果顯示在PC上,方便查看。
還可根據(jù)要求提供地圖顯示等。


日本JUSTEM晶圓檢測/測量設(shè)備手動測厚機(jī) STM-06 的特點(diǎn)介紹

目標(biāo)工作硅(硅)
工作尺寸φ4、5、6英寸
工作厚度80 至 1,500μm
設(shè)備類型桌面型
安裝環(huán)境1000級
設(shè)備尺寸寬426×深548×高323(毫米)
設(shè)備重量70公斤
電源電壓單相100V 50/60Hz 共用
真空-50KPa
測量傳感器色差共焦傳感器
測量精度
重復(fù)10次
標(biāo)準(zhǔn)偏差0.1μm以下
測量點(diǎn)任意多點(diǎn)測量



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